Оборудование для производства полупроводников требует высокоточного управления движением, компактных механических конструкций и надежной передачи усилия. В разных областях применения — от роботов для работы с пластинами и систем OHT до литографического и метрологического оборудования — предъявляются разные требования к волновым редукторам. В этой статье Теодор Ли, технический директор HONPINE, рассказывает о трех решениях на основе волновых редукторов: серии FHG с полым валом, сверхтонкой серии FHD и сверхплоской серии FSD. Также мы рассмотрим 10 ключевых технических параметров, которые инженерам следует учитывать при выборе волнового редуктора для оборудования для производства полупроводников, включая номинальный крутящий момент, люфт, торсионную жесткость, диаметр полого вала и допустимую моментную нагрузку.